Micro-Metric公司开发的Innova光学测量系统可用于半导体、光电器件和微机电系统（MEMS）装置等微小尺寸的点到点（PTP）和视场（FOV）非接触式测量。视场测量的最小尺寸为0.5μm，测量精度可达0.010μm（10nm）；除可手动进行单点测量外，还可通过编程进行全自动逐点顺序测量。仪器采用了移动行程为（200×200）mm（X，Y）的高精密工作台和能进行精密深度测量的共焦显微镜，并可对亮度转换进行亚象素级插补，从而可实现亚微米线宽的测量。通过分析被测物体的边缘锐度，显微镜可在最佳焦点处实现自动聚焦定位。